光伏玻璃或者又叫做光电玻璃，通过压入太阳能光伏组件，能够利用太阳辐射发电，并具有相关电流引出装置以及电缆的特种玻璃。由玻璃、太阳能电池片、胶片、背板玻璃、特殊金属导线等组成。

平时常见的分两种玻璃，一种是硅晶片光伏玻璃，有单晶硅和多晶硅两种，主要应用写字楼外围。写字楼几百米高，每年空调冷气不知道需要多少能源，把外围玻璃改成太阳能电池板，自身就可以提供一部分能源。目前硅晶片玻璃占市场。

目前太阳能背板主要有两种类型：

一：涂覆型背板，采用在基材PET聚酯薄膜表面涂覆上含氟树脂；

二：涂胶复合型背板，采用在基材聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）薄膜表面复合上一层氟膜。

含材料性能优越，耐热耐水耐腐蚀，不过同时也具有很高的斥水斥油性能，不利于与太阳能封装胶膜EVA的粘接。所以在封装前通常解决的办法是用低温等离子清洗机处理

低温等离子清洗机能够有效提升含材料表面的亲水性，提高含材料与太阳能封装胶膜乙烯-醋酸乙烯共 聚物( EVA)的粘接性能，为太阳能电池片提供稳定有效的保护。

经低温等离子清洗机处理之后的含氟涂料，其表面能增加，接触角减小与EVA的剥离力增 加，从而提高了其与EVA的粘接性能。随着低温等离子清洗机处理功率和时间的增加，有利于其表面性能的改善。

以硅晶片电池板为例，根据测试，不经过低温等离子处理，传统硅基太阳能制备工艺生产出的多晶硅太阳能电池的光电转换效率在17% 左右，难以突破。经过低温等离子体清洗设备对电池表面进行处理，结果显示，经过处理后，多晶硅太阳能电池的峰值功率与光电转换效率平均提升了5% 左右。由此推测，利用低温等离子体清洗机处理多晶硅电池表面的方法，具有使氮化硅表面钝化、去除磷硅玻璃、清洗电池片以及优化表面绒面等作用，因此，利用该技术可提升太阳能电池片的产品性能。利用低温等离子清洗机对涂覆型GPJ太阳能背板的含氟涂料面进行处理时，当处理功率达到4.0 kW、时间达到3 s以上，其表面性能达到高后稳定

等离子清洗机在光伏玻璃行业的应用主要包含在下面的这5个方面

一．清洗指纹油污

电池片表面会因为员工排片或焊接过程中手指碰触会留下指纹以及油污等，电池片表面具有细致的绒面结构，因此清理起来比较困难。油污等会阻碍电池片表面对光的吸收及利用，导致组件的发电效率降低。低温等离子体清洗机会通过电离气体产生高温高速的电子束流（宏观呈现低气体温度），束流在轴向风机的作用下吹扫，去除电池表面的油污、指纹等，从而起到清洗的作用

二．表面制绒

多晶硅光伏电池表面需要通过制绒工艺来制备一层蠕虫状的绒面，以此来提高光的吸收和利用效率。一般制备工艺是利用和按一定配比对多晶硅电池表面进行绒面腐蚀制备，在硅片表面形成一层多孔硅。多孔硅可以作为吸杂中心，提高光生载流子寿命并且具有较低的反射系数。但是多孔硅结构松散不稳定，具有较高的电阻以及表面复合率。低温等离子体的高速粒子撞击在电池片表面，一方面可以将绒面处理得加细致有序，另一方面也可以使 表面结构加稳定，减少了复合中心的产生。

三．温性刻蚀

光伏制备工艺中由于磷的扩散，电池片表面及边缘会不可避免地掺入磷元素。光生电子会随着磷的扩散由正面流动到背面，造成 PN 结短路，从而导致并联电阻降低。并联电阻反映的是电池的漏电水平，它会影响太阳电池的开路电压，它的减小会使开路电压降低，但对短路电流基本没有影响。电池片表面还会形成 PSG（磷硅玻璃），PSG 易吸收空气中的水分，导致电流降低和功率衰减。低温等离子体可以通过粒子吹扫将多余扩散的磷分解，从而达到去除 PSG 的目的。

四． 表面钝化

光伏电池制备过程中由于切割工序的存在，会在电池片表面形成悬挂键，悬挂键具有捕获光生载流子的作用，限制光电流的产生，是光伏电池较为严重的能量损失方式。低温等离子体可以电离氢气体，用氢离子来修补钝化电池片表面的悬挂键，使硅原子恢复到稳定结构。

五． 降低死层影响

在扩散区中，由于不活泼磷原子处于晶格间隙位置，会引起晶格缺陷。由于磷和硅的原子半径不匹配，高浓度的磷还会造成晶格缺陷。因此，在硅电池表层中，少数载流子的寿命低，表层吸收短波光子所产生的光生载流子对电池的光电流输出贡献甚微，因此，该表层称为“死层”。“死层”的存在是不可避免的，但是可以利用一些方法来降低“死层”的影响。低温等离子体的吹扫可以使表面磷原子分布加均匀，促进磷原子的正确落位，从而降低了电池片表面的死层影响。

等离子清洗机特点是对工艺参数进行控制，使其具有良好的可靠性和重现性。