各类传感器的派瑞林涂层防护

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关 键 词：传感器,绝缘防护,派瑞林,派瑞林真空镀膜

行 业：表面处理 涂装设备 

发布时间：2024-09-18

       MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
MEMS传感器通常被分为以下7类：

　　1、压力传感器：绝*压力传感器和计量压力的传感器。

　　2、热学传感器：温度和热量传感器。

　　3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。

　　4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。

　　5、磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。

　　6、辐射传感器：电磁波强度传感器。

　　7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。

　　除了上面介绍的几种典型的MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不同的。但是，无论何种传感器，都需要有防护涂层才能够使其延长使用寿命。

　　派瑞林是一种新型敷形涂层材料，是一种对二甲*聚合物，它具有化学惰性，不溶于酸、碱和**溶剂，并能抗水解剥蚀，由这种技术形成的薄膜涂层能覆盖到丝织物的棱边和缝隙内。其表面呈疏水性，对水汽和腐蚀性气体渗透性差，热稳定性好，在酸雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中有很好的隔离防护功能。派瑞林(Parylene)膜层因其生成环境温度较低、介电常数小、润滑性好、摩擦系数低、绝缘性和防腐性好等特点，在多个领域得到广泛应用。

　　目前传感器敏感元件直接暴露在使用环境中，缺乏防护涂层，容易受到水汽和盐雾等恶劣环境的影响，从而导致传感器敏感元件的使用寿命较短，派瑞林(Parylene)可在真空下气相沉积，其活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给传感器敏感元件提供一个完整的优*防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气体的侵害。