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深圳市利方达科技有限公司
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PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有较宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。 优点 ●恒功率、电压或电流输出 ●较高的灵活性与模块性 ●强大的电弧控制 ●自动制程保护装置 ●较宽的祖抗匹配范围 ●高功率密度 PEII 5000 ●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地） ●输出频率：40kHz±0.01% ●输出功率：5000W ●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7 ●输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1 ●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm ●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长） ●重量：40.8KG PEII 10K ●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地） ●输出频率：40kHz±0.01% ●输出功率：5000W ●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7 ●输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1 ●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm ●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长） ●重量：40.8KG