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深圳市晟实科技有限公司
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EDWARDS爱德华EH系列真空泵EH500 概述： EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是较受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。 机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。 应用 半导体制程 真空蒸馏 真空包装 钢脱气 薄膜覆层 真空冶金 低密度风洞 空间模拟 真空浸渍 油干燥和脱气 制药冷冻干燥 CO2 激光 功能和优势 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要**过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。 EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供： 安静的无振动运行。 牢靠且防腐蚀。 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到较低。 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。 容积（工作容积） 50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1 60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1 使用后备泵时的有效抽取速度 E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1 E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1 E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1 E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1 泵的压差 ? 50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr 60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr 入口连接 ISO100 出口连接 ISO63 转速 50Hz 0-2900 rpm 60Hz 0-3500 rpm 连续入口操作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr 较大出口压力 1000 mbar/760 Torr 推荐的后备泵 GV80，E2M80 电源供给 50Hz 220-240V/380-415V 60Hz 230V/460V 马达功率 碳氢化合物 2.2kW/3hp PFPE 2.2kW/3hp ATEX 2.2kW 防爆型 3hp 环境温度范围 操作 5 至 40°C/40 至 104°F 存储 -10 至 80°C/14 至 176°F 较大操作湿度 90% RH 推荐用油 标准型 Ultragrade 20 PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6 油容量 联结器箱 1.5 升 轴杆封口储油器 0.125 升 重量* 106 kg/233 lb