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产品规格：353-520
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关 键 词：Inficon,英福康,HPG400,353-520
发布时间：2017-03-02
INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离和皮拉尼传感器组合在一个简单,小型,经济的组装件中,测量压强范围从 2 x 10-6 毫巴至大气压(1.5 x 10-6 乇至大气压). HPG400 提供高度可重复和可再生的压强测量用于精确的溅射过程压强控制. 优势： HPG400 节省成本和工具空间和减少真空系统安装和设置的复杂性 高压强热电离真空计提供精确,可靠的压强测量从1 x 10-5 至 1 毫巴, 用于改进的过程控制 用户可选的热离子发射作用于 5 x 10-2 与 1 毫巴之间 皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁 可选图形显示器和现场总线接口 自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预 RoHS 兼容性 应用： 溅射应用于半导体制造,电子学和介质工业中 工业镀膜 一般真空测量和控制在低**真空范围
