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发布时间:2018-10-23
涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出较为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好,因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级,抽速可以达到1000L/s,达到较大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间,因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、高效率、高精度、**命、低噪音、无油污等**优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的核心技术。不过,由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚,将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。经过多年的不懈努力,磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理,研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机,较后将两者结合起来,成功研发出国内首台磁悬浮复合分子泵,并探索实现了产业化。北京世纪久泰真空技术/抗冲击分子维修泵厂家/抗冲击分子维修泵厂家生产由北京世纪久泰真空技术有限公司(www.sjjtvac.com)提供。