漏电微光显微镜-探针台PM300-深圳市易捷测试技术有限公司

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深圳市易捷测试技术有限公司

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产品规格：1*1

产品数量：100 个

包装说明：无

关 键 词：缺陷定位微光显微镜系统

行 业：机械 电子产品制造设备 

发布时间：2018-09-05

漏电微光显微镜-探针台PM300-深圳市易捷测试技术有限公司
EMMI 微光显微镜是一种效率较高的失效分析工具，提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱的发光（可见光及近红外光），由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
      EMMI 侦测对应故障种类涵盖ESD，Latch up，I/O Leakage，junction defect，hot electrons，oxide current leakage等所造成的异常。

	微光显微镜系EMMI 配置


	探测器：


	**工作温度较低可达-65摄氏度


	**C-CCD：1024 X 1024/512X512像素


	** InGaAs: 640 x 480/ 320 x 256像素


	6/8/12英寸针台：


	**平台高度调整范围：20mm


	**快速卡盘移动


	**X/Y方向精细调节


	NIR光学系统：


	**NIR显微镜，2.5x、5x、20x、50x、100x镜头可选


	**高精度电动X/Y/Z显微镜支架


	**X/Y方向移动范围：>50mm,分辨率<0.2umz


	**方向移动范围：>80mm,分辨率<0.2um


	


	


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