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发布时间：2018-10-22
1912年，德国人W.Gaede发明了世界上**台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。1926年，M.siegbahn在瑞典的大学实验室中开发了一种盘型分子泵，其结构与现代牵引式分子泵相似，泵体上开有螺旋槽，转子为一圆盘。1939年，LE BOLD公司生产制造过两台，直径540mm，槽的尺寸：内侧为22mm×22mm，外侧为22mm×1mm，转速3 700r/min，抽速可达73L/s。早期的分子泵均为牵引式分子泵，这种泵的体积大，抽速小，间隙小，故障多，应用时受到很多限制，所以只能在一些特殊领域使用，未能普及。 磁悬浮分子泵认定为国际先进。这在填补了国内在该领域空白的同时，也为产业化奠定了坚实基础。应用范围广泛。其在半导体生产线、真空镀膜生产线、高档汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。针对这一科技创新成果在磁悬浮分子泵领域彻底打破国外技术垄断，提高了国内真空分子泵的技术水平，推动分子泵产品向高端应用发展，同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索出一条技术开发路线，为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。真空分子泵厂家选择-北京世纪久泰真空技术-真空分子泵厂家由北京世纪久泰真空技术有限公司(www.sjjtvac.com)提供。