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发布时间：2018-09-27
1912年，德国人W.Gaede发明了世界上**台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。1926年，M.siegbahn在瑞典的大学实验室中开发了一种盘型分子泵，其结构与现代牵引式分子泵相似，泵体上开有螺旋槽，转子为一圆盘。1939年，LE BOLD公司生产制造过两台，直径540mm，槽的尺寸：内侧为22mm×22mm，外侧为22mm×1mm，转速3 700r/min，抽速可达73L/s。早期的分子泵均为牵引式分子泵，这种泵的体积大，抽速小，间隙小，故障多，应用时受到很多限制，所以只能在一些特殊领域使用，未能普及。涡轮分子泵注意事项1、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。2、分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。5、分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。 真空分子泵厂家,真空分子泵厂家品牌,北京世纪久泰真空技术由北京世纪久泰真空技术有限公司(www.sjjtvac.com)提供。