时间:2024-07-23 08:57:20 点击:18
金刚石作为**宽带隙半导体材料,具有高载流子迁移率、高热导率、高击穿电场、高载流子饱和速率和低介电常数等优异物理特性,被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件的“良好半导体”。 我国金刚石半导体产业与先进国家相比存在:1、关键设备依赖进口,无自主知识产权,易遭到国外封锁;2、缺乏大尺寸金刚石衬底制备和薄膜外延生长工艺;3、金刚石研磨、键合、减薄技术不成熟等差距。本项目集合高校**科研团队和工业界优秀工程师团队,打通产业化所需的高质量金刚石薄膜生长、HFCVD热丝CVD金刚石设备定制、晶圆抛磨键合减薄等研发和生产环节,从工具级、热学级产品切入,并将持续推动光学级、电子级甚至**级产品研发。 鹏城半导体技术(深圳)有限公司(简称:鹏城半导体)*的HFCVD热丝化学气相沉积设备(热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石涂层设备)可用于微米晶、纳米晶金刚石晶圆片生产,也可制造防腐耐磨硬质涂层、金刚石BDD电极、太阳能薄膜电池等。 *生产的单/双面镀膜热丝CVD金刚石设备(HFCVD)可制备金刚石多晶晶圆片衬底尺寸:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。 应用领域:*三代半导体、大功率激光器、10G通讯、微纳声学、功放器件、滤波器件等;可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。 公司简介: 鹏城半导体技术(深圳)有限公司,由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于市场*、产业*和技术*的交叉点,寻求创新**与可持续发展,解决产业的痛点和国产化难题,争取产业链的自主可控。 公司核心业务是微纳材料(含半导体材料)、微纳制造工艺、微纳装备的研发设计和生产制造。 科研型设备:PVD、CVD、MBE分子束外延等。 工业生产型设备:大型蒸镀设备、多弧离子源镀膜设备、矩形磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发设备、OLED镀膜设备、HFCVD热丝化学气相沉积设备、真空高温CVD炉、六英寸MBE生产设备。 公司技术和产品可以广泛应用于:新材料、新能源、微电子光电子、半导体、声学、光学、微机电系统(MEMS);传感器、生物医学、精准医疗、大健康、环保、微纳机器人、表面技术等领域。 公司核心研发团队知识结构完整,有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队,还有来自工业界的高级装备设计师团队。公司团队具有20多年的微纳材料与器件研究(含半导体材料)、PVD/CVD沉积技术研究、外延技术研究、薄膜制备成套装备设计和生产制造的经验。